沈兼士（1887年～1947年），浙江吴兴人。中国语言文字学家、文献档案学家、教育学家。1905年与兄沈尹默自费东渡日本求学，入东京物理学校。时章太炎先生居东瀛，沈兼士拜其门下，并加入同盟会。回国后曾历任北京大学、清华大学等校国文系教授，故宫博物院文献馆馆长等职。
他在语言文字领域的贡献主要体现在积极参加国语运动，创建汉语字族学。在建立汉语字族学方面，著有《广韵声系》一书，在中国传统语言学研究的经验与成果的基础上，将语义与语音结合起来研究，以文字为标音符号，从叙述谐声字发展的历史轨迹中，揭示汉语语根与派生词的亲族关系，即建立汉语的字族学。他认为这是建设汉语语言学的必要条件。
此外，他还著有《声训论》《广韵异读字研究序》等著作以及一些研究具体某个汉字的字族的论文等。